Altera S 15.10.8
          發布時間: 2020-04-01 10:58    
      技術規格
      主要規格參數 ALTERA S 15.10.8
      有效測量范圍 X軸(沿工作臺移動方向) 1500mm
      Y軸(沿橫梁移動方向) 1000mm
      Z軸 800mm
      測量精度mm 最大允許示值誤差MPEE 1.8+L/400 μm
      (18-22
      最大允許探測誤差MPEP 1.6 μm
      寬溫度范圍測量精度 最大允許示值誤差MPEE 1.8+L/300μm
      (16-26
      最大三維速度 762 mm/s
      最大三維加速度 2290 mm/s2
      環境溫度要求 最大使用溫度范圍 10-30
      保證精度使用范圍 18-22
      溫度梯度(時間) 1/h      2/24h
      溫度梯度(空間) 1/m
      氣源要求 供氣壓力 不小于6.3 Bar (90psi)
      (必須經過精過濾)
      氣體流量 不小于140~200NL/min
      環境濕度要求 20%-80%無冷凝

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